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半导体设备电源接口

Power supply interface for semiconductor equipment

GB/T 15872-2013推荐性国家标准

现行

相似
更新日期：2026-02-11
半导体设备电源接口

标准状态

发布日期

2013-12-17

实施日期

2014-05-15

基础信息

标准号

GB/T 15872-2013

批准发布部门

工业和信息化部（电子）

发布部门

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口

工业和信息化部（电子）

标准分类

中国标准分类号

L23

国际标准分类号

31.220.10

标准层级

国家标准

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