硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

Determination of impurity content in trichlorosilane for silicon epitaxy—Inductively coupled plasma mass spectrometry

GB/T 29056-2025 推荐性国家标准

即将实施

标准状态

发布日期

2025-10-31

实施日期

2026-05-01

基础信息

标准号

GB/T 29056-2025

批准发布部门

国家标准委

发布部门

国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会

技术归口

国家标准委

标准分类

中国标准分类号

H17

国际标准分类号

77.040

标准层级

国家标准

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