X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告

Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry—Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting

GB/T 36053-2018推荐性国家标准

现行

更新日期:2026-02-23

标准状态

发布日期

2018-03-15

实施日期

2019-02-01

基础信息

标准号

GB/T 36053-2018

批准发布部门

中国科学院

技术归口

中国科学院

是否采用国际标准

该标准采用国际标准

标准分类

中国标准分类号

G04

国际标准分类号

71.040.40

标准层级

国家标准

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