Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry—Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting
现行
2018-03-15
2019-02-01
GB/T 36053-2018
中国科学院
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
中国科学院
该标准采用国际标准
G04
71.040.40
国家标准
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