Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry—Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 36053-2018 | X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告 | 现行 | 2019-02-01 | 找相似 |
| GB/T 40279-2021 | 硅片表面薄膜厚度的测试 光学反射法 | 现行 | 2022-03-01 | 找相似 |
| GB/T 42905-2023 | 碳化硅外延层厚度的测试 红外反射法 | 现行 | 2024-03-01 | 找相似 |
| GB/T 14847-2025 | 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的测试 红外反射法 | 即将实施 | 2026-05-01 | 找相似 |
| GB/T 42905-2023 | 碳化硅外延层厚度的测试 红外反射法（外文版EN） | 现行 | —— | 找相似 |
| GB/T 25451-2010 | 重水堆核电厂燃料元件涂层厚度测量β射线背散射法 | 现行 | 2011-05-01 | 找相似 |
| GB/T 20018-2005 | 金属与非金属覆盖层 覆盖层厚度测量 β射线背散射法 | 现行 | 2006-04-01 | 找相似 |
| GB/T 41894.2-2022 | 船舶与海上技术 通过测量轴变形量确定船舶推进系统轴功率 第2部分：光学反射法 | 现行 | 2022-10-12 | 找相似 |
| T/ZOIA 30001-2022 | MEMS高深宽比结构深度测量方法 光谱反射法 | 现行 | 2022-12-29 | —— |
| GB/T 14847-2010 | 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法 | 废止 | 2011-10-01 | 找相似 |
| T/IAWBS 007-2018 | 4H 碳化硅同质外延层厚度的红外反射测量方法 | 现行 | 2018-12-17 | —— |
| T/IAWBS 007-2018 | 4H 碳化硅同质外延层厚度的红外反射测量方法 | 现行 | 2018-12-17 | —— |
| GB/T 33705-2017 | 土壤水分观测 频域反射法 | 现行 | 2017-12-01 | 找相似 |
| GB/T 44878-2024 | 冻土观测 频域反射法 | 现行 | 2025-03-01 | 找相似 |
| DB/T 108.1-2025 | 活动断层探查 地震勘探 第1部分：浅层反射/折射法 | 现行 | 2026-01-01 | 找相似 |
| GB/T 24288-2009 | 纸和纸板 主波长和兴奋纯度的测定 D65/10°漫反射法 | 现行 | 2010-03-01 | 找相似 |
| GB/T 21245-2007 | 纸和纸板颜色的测定(C/2°漫反射法) | 现行 | 2008-09-01 | 找相似 |
| GB/T 7975-2005 | 纸和纸板 颜色的测定(漫反射法) | 现行 | 2006-04-01 | 找相似 |