重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法

Test mothod for thickness of lightly doped silicon epitaxial layers on heavily doped silicon substrates by infrared reflectance

GB/T 14847-2010推荐性国家标准

废止

GB/T 14847-2010 相似标准 第1页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态实施日期相似标准
GB/T 14847-2010重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法废止2011-10-01找相似
GB/T 14847-2025重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的测试 红外反射法即将实施2026-05-01找相似
T/IAWBS 007-20184H 碳化硅同质外延层厚度的红外反射测量方法现行2018-12-17——
T/IAWBS 007-20184H 碳化硅同质外延层厚度的红外反射测量方法现行2018-12-17——
GB/T 42905-2023碳化硅外延层厚度的测试 红外反射法现行2024-03-01找相似
GB/T 42905-2023碳化硅外延层厚度的测试 红外反射法(外文版EN)现行——找相似
GB/T 8758-2006砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法现行2006-11-01找相似
YS/T 14-2015异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法现行2015-10-01找相似
YS/T 14-1991导质外延层和硅夕晶层厚度测量方法废止1992-06-01找相似
YS/T 23-2016硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法现行2016-09-01找相似
YS/T 15-2015硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法现行2015-10-01找相似
YS/T 23-1992硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法废止1993-01-01找相似
YS/T 15-1991硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法废止1992-06-01找相似
GB/T 36053-2018X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告现行2019-02-01找相似
GB/T 30110-2013空间红外探测器碲镉汞外延材料参数测试方法现行2014-05-15找相似
T/CPIA 0100-2024光伏电池用掺杂层薄层方块电阻的测量方法现行2024-12-30——
GB/T 36540-2018水体可见光-短波红外光谱反射率测量现行2019-02-01找相似
GB/T 20216-2016纸浆和纸 有效残余油墨浓度(ERIC值)的测定 红外线反射率测量法现行2017-07-01找相似