即将实施
2026-07-15
2027-02-01
108388-2026
2026-09-08
本文件规定了i线光刻级氟化钙晶体的术语和定义、技术要求、检验方法、检验规则、包装、运输及贮存。本文件适用于i线光刻级氟化钙晶体。
中国科学院上海硅酸盐研究所、上海德硅凯氟光电科技有限公司、上海微电子装备（集团）股份有限公司、上海现代先进超精密制造中心有限公司、中材人工晶体研究院有限公司
苏良碧、刘荣荣、张博、姜大朋、寇华敏、吴庆辉、张中晗、唐飞、王静雅、钱小波、贾健、侯宝路、李运峰、吴永庆、陈建荣
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| T/REIANM 0305-2024 | 白云鄂博矿化学分析方法 氟化钙量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法 | 现行 | 2024-11-05 | 2024-11-05 |
| YB/T 6284-2024 | 炼钢铁水预处理用钙基脱硫剂 氧化钙、氧化镁、二氧化硅、三氧化二铝、氟化钙含量的测定 波长色散X射线荧光光谱法 | 现行 | 2024-10-24 | 2025-05-01 |
| T/ZJGFTR 024-2022 | 冶炼造渣用 氟化钙 | 现行 | 2022-12-28 | 2022-12-28 |
| T/NMRJ 029-2025 | 铁矿石中氟化钙含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法 | 现行 | 2025-07-17 | 2025-07-17 |
| GB/T 27804-2011 | 氟化钙 | 现行 | 2011-12-30 | 2012-06-01 |
| YB/T 4909.2-2021 | 炼钢铁水预处理用钙基脱硫剂分析方法 第2部分：氟化钙含量的测定 蒸馏-锆盐滴定法 | 现行 | 2021-03-05 | 2021-07-01 |
| GB/T 5195.1-2017 | 萤石 氟化钙含量的测定 EDTA滴定法和蒸馏-电位滴定法 | 现行 | 2017-09-07 | 2018-06-01 |
| JC/T 3079-2026 | 钙镁锆共掺钆镓石榴石单晶衬底 | 即将实施 | 2026-07-15 | 2027-02-01 |