| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 29844-2013 | 用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范 | 现行 | 2013-11-12 | 2014-04-15 |
| GB/T 45826-2025 | 光刻用掺钛石英玻璃 | 现行 | 2025-05-30 | 2025-12-01 |
| GB/T 34177-2017 | 光刻用石英玻璃晶圆 | 现行 | 2017-09-07 | 2018-08-01 |
| T/ZZB 3949-2025 | 阻焊制程激光直写式光刻设备 | 现行 | 2025-12-20 | 2025-12-31 |
| T/FSS 133-2024 | 佛山标准 光刻气 氪氩混合气 | 现行 | 2024-09-26 | 2024-09-29 |
| T/ICMTIA 5.3-2020 | 集成电路用ArF光刻胶光刻检测方法 | 现行 | 2020-12-31 | 2021-03-01 |
| T/ICMTIA 5.3-2020 | 集成电路用ArF光刻胶光刻检测方法 | 现行 | 2020-12-31 | 2021-03-01 |
| JC/T 3080-2026 | i线光刻级氟化钙晶体 | 即将实施 | 2026-07-15 | 2027-02-01 |