GB/T 29844-2013 用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范

标准状态

发布日期

2013-11-12

实施日期

2014-04-15

基础信息

标准号

GB/T 29844-2013

批准发布部门

国家标准委

发布部门

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口

国家标准委

标准分类

中国标准分类号

L90

国际标准分类号

31.030

标准层级

国家标准

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