Quartz glass wafer for lithography
现行
2017-09-07
2018-08-01
GB/T 34177-2017
中国建筑材料联合会
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
中国建筑材料联合会
Q35
81.040.30
国家标准
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| T/ZZB 3949-2025 | 阻焊制程激光直写式光刻设备 | 现行 | 2025-12-20 | 2025-12-31 |
| T/FSS 133-2024 | 佛山标准 光刻气 氪氩混合气 | 现行 | 2024-09-26 | 2024-09-29 |
| GB/T 45826-2025 | 光刻用掺钛石英玻璃 | 现行 | 2025-05-30 | 2025-12-01 |
| GB/T 43793.3-2024 | 平板显示用彩色光刻胶测试方法 第3部分：可靠性 | 现行 | 2024-03-15 | 2024-10-01 |
| T/QGCML 2307-2023 | 光刻胶用低金属含量四甲氧甲基甘脲生产技术要求 | 现行 | 2023-11-24 | 2023-12-12 |
| GB/T 43793.1-2024 | 平板显示用彩色光刻胶测试方法 第1部分：理化性能 | 现行 | 2024-03-15 | 2024-10-01 |
| GB/T 5059.9-2008 | 钼铁 硫含量的测定 红外线吸收法和燃烧碘量法 | 现行 | 2008-09-11 | 2009-05-01 |