2017-09-07
2018-08-01
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 5059.9-2008 | 钼铁 硫含量的测定 红外线吸收法和燃烧碘量法 | 现行 | 2008-09-11 | 2009-05-01 |
| T/ZS 0344-2022 | 数字化无掩模激光直写光刻机 | 现行 | 2022-11-10 | 2022-11-17 |
| DB13/T 6236-2025 | PAS系列投影光刻机同轴对准系统激光器更换及光路调整一般要求 | 现行 | 2025-12-16 | 2026-01-16 |
| GB/T 47890-2026 | 高分辨率干膜光刻胶 | 即将实施 | 2026-07-02 | 2027-02-01 |
| T/QGCML 2307-2023 | 光刻胶用低金属含量四甲氧甲基甘脲生产技术要求 | 现行 | 2023-11-24 | 2023-12-12 |
| T/FSS 133-2024 | 佛山标准 光刻气 氪氩混合气 | 现行 | 2024-09-26 | 2024-09-29 |
| T/ZZB 3949-2025 | 阻焊制程激光直写式光刻设备 | 现行 | 2025-12-20 | 2025-12-31 |
| GB/T 34177-2017 | 光刻用石英玻璃晶圆 | 现行 | 2017-09-07 | 2018-08-01 |
| GB/T 45826-2025 | 光刻用掺钛石英玻璃 | 现行 | 2025-05-30 | 2025-12-01 |
| GB/T 43793.3-2024 | 平板显示用彩色光刻胶测试方法 第3部分：可靠性 | 现行 | 2024-03-15 | 2024-10-01 |