PAS系列投影光刻机同轴对准系统激光器更换及光路调整一般要求

DB13/T 6236-2025河北省

现行

更新日期:2026-09-12

标准状态

发布日期

2025-12-16

实施日期

2026-01-16

基础信息

标准号

DB13/T 6236-2025

批准发布部门

河北省市场监督管理局

提出部门

中共河北省委军民融合发展委员会办公室

制修订

制定

标准分类

中国标准分类号

N45

国际标准分类号

13.040.50

行业分类

信息传输、软件和信息技术服务业

标准类别

方法标准

标准分类

河北省

标准层级

地方标准

备案信息

备案号

128828-2026

备案日期

2026-01-26

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