| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| DB13/T 6236-2025 | PAS系列投影光刻机同轴对准系统激光器更换及光路调整一般要求 | 现行 | 2026-01-16 | 找相似 |
| T/ZS 0344-2022 | 数字化无掩模激光直写光刻机 | 现行 | 2022-11-17 | —— |
| GB/T 16524-1996 | 光掩模对准标记规范 | 现行 | 1997-05-01 | 找相似 |
| GB/T 34326-2017 | 表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度测量方法 | 废止 | 2018-08-01 | 找相似 |
| SJ/T 10274-1991 | 掩模对准曝光机测试方法 | 现行 | 1992-01-01 | 找相似 |
| GB/T 34326-2026 | 表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度的测量方法 | 即将实施 | 2026-08-01 | 找相似 |
| JB/T 12009-2014 | 微电机换向器下刻机 | 现行 | 2014-11-01 | 找相似 |
| GB/T 15861-2012 | 离子束蚀刻机通用规范 | 现行 | 2013-02-15 | 找相似 |
| GB/T 31301.7-2020 | 制鞋机械 安全要求 第7部分：铣削机和雕刻机 | 现行 | 2020-11-01 | 找相似 |
| DB37/T 2462-2014 | 雕刻机通用技术条件 | 废止 | 2014-11-01 | —— |
| T/CZACA 9-2018 | 松花石数控雕刻机床安全操作技术规范 | 现行 | 2018-07-20 | —— |
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| GB/T 43793.1-2024 | 平板显示用彩色光刻胶测试方法 第1部分：理化性能 | 现行 | 2024-10-01 | 找相似 |
| GB/T 43793.3-2024 | 平板显示用彩色光刻胶测试方法 第3部分：可靠性 | 现行 | 2024-10-01 | 找相似 |
| GB/T 43793.2-2024 | 平板显示用彩色光刻胶测试方法 第2部分：光学性能 | 现行 | 2024-10-01 | 找相似 |
| GB/T 29844-2013 | 用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范 | 现行 | 2014-04-15 | 找相似 |
| GB/T 45826-2025 | 光刻用掺钛石英玻璃 | 现行 | 2025-12-01 | 找相似 |
| GB/T 44928-2024 | 微电子学微光刻技术术语 | 现行 | 2024-12-31 | 找相似 |