| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 45826-2025 | 光刻用掺钛石英玻璃 | 现行 | 2025-05-30 | 2025-12-01 |
| GB/T 34177-2017 | 光刻用石英玻璃晶圆 | 现行 | 2017-09-07 | 2018-08-01 |
| GB/T 43793.1-2024 | 平板显示用彩色光刻胶测试方法 第1部分：理化性能 | 现行 | 2024-03-15 | 2024-10-01 |
| GB/T 43793.3-2024 | 平板显示用彩色光刻胶测试方法 第3部分：可靠性 | 现行 | 2024-03-15 | 2024-10-01 |
| GB/T 43793.2-2024 | 平板显示用彩色光刻胶测试方法 第2部分：光学性能 | 现行 | 2024-03-15 | 2024-10-01 |
| GB/T 29844-2013 | 用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范 | 现行 | 2013-11-12 | 2014-04-15 |
| GB/T 44928-2024 | 微电子学微光刻技术术语 | 现行 | 2024-12-31 | 2024-12-31 |
| T/ZZB 3949-2025 | 阻焊制程激光直写式光刻设备 | 现行 | 2025-12-20 | 2025-12-31 |
| T/TCH 002-2022 | 废湿电子化学品再生液 光刻胶稀释剂 | 现行 | 2022-06-28 | 2022-07-01 |
| T/FSS 133-2024 | 佛山标准 光刻气 氪氩混合气 | 现行 | 2024-09-26 | 2024-09-29 |
| T/QGCML 2307-2023 | 光刻胶用低金属含量四甲氧甲基甘脲生产技术要求 | 现行 | 2023-11-24 | 2023-12-12 |
| GB/T 47890-2026 | 高分辨率干膜光刻胶 | 即将实施 | 2026-07-02 | 2027-02-01 |
| T/ICMTIA 5.2-2020 | 集成电路用ArF浸没式光刻胶 | 现行 | 2020-12-31 | 2021-03-01 |
| T/ICMTIA 5.3-2020 | 集成电路用ArF光刻胶光刻检测方法 | 现行 | 2020-12-31 | 2021-03-01 |
| T/ICMTIA 4.1-2020 | 集成电路用氟化氩光刻胶单体 第1部分：液体甲基丙烯酸酯类 | 现行 | 2020-12-31 | 2021-03-01 |
| T/ICMTIA 4.2-2020 | 集成电路用氟化氩光刻胶单体 第2部分：固体甲基丙烯酸酯类 | 现行 | 2020-12-31 | 2021-03-01 |
| T/ICMTIA 5.1-2020 | 集成电路用 ArF 干式光刻胶 | 现行 | 2020-12-31 | 2021-03-01 |
| JB/T 14418-2023 | 内燃机 激光刻线气缸套技术规范 | 现行 | 2023-08-16 | 2024-02-01 |