光刻用掺钛石英玻璃

Titania doped silica glass for lithography

GB/T 45826-2025 推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

2025-05-30

实施日期

2025-12-01

基础信息

标准号

GB/T 45826-2025

批准发布部门

中国建筑材料联合会

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

技术归口

中国建筑材料联合会

标准分类

中国标准分类号

Q35

国际标准分类号

81.040.30

标准层级

国家标准

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