主要技术内容
本文件规定了光刻气氪氩混合气的术语和定义、技术要求、制备、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、安全信息及质量承诺。本文件适用于由高纯氪和高纯氩为原料制备的混合气体。
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现行
2024-09-26
2024-09-29
T/FSS 133-2024
佛山市佛山标准和卓越绩效管理促进会
团体标准
本文件规定了光刻气氪氩混合气的术语和定义、技术要求、制备、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、安全信息及质量承诺。本文件适用于由高纯氪和高纯氩为原料制备的混合气体。
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| T/ZZB 3949-2025 | 阻焊制程激光直写式光刻设备 | 现行 | 2025-12-20 | 2025-12-31 |
| GB/T 34177-2017 | 光刻用石英玻璃晶圆 | 现行 | 2017-09-07 | 2018-08-01 |
| GB/T 45826-2025 | 光刻用掺钛石英玻璃 | 现行 | 2025-05-30 | 2025-12-01 |
| GB/T 43793.3-2024 | 平板显示用彩色光刻胶测试方法 第3部分：可靠性 | 现行 | 2024-03-15 | 2024-10-01 |
| GB/T 43793.1-2024 | 平板显示用彩色光刻胶测试方法 第1部分：理化性能 | 现行 | 2024-03-15 | 2024-10-01 |
| T/FSS 134-2024 | 佛山标准 焙烤食品自动理料设备 | 现行 | 2024-09-26 | 2024-09-29 |
| T/FSS 112-2024 | 佛山标准 气液染色机 | 现行 | 2024-09-26 | 2024-09-29 |
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