佛山标准 光刻气 氪氩混合气

本文件规定了光刻气氪氩混合气的术语和定义、技术要求、制备、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、安全信息及质量承诺。本文件适用于由高纯氪和高纯氩为原料制备的混合气体。