| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| SJ/T 10274-1991 | 掩模对准曝光机测试方法 | 现行 | 1992-01-01 | 找相似 |
| GB/T 16524-1996 | 光掩模对准标记规范 | 现行 | 1997-05-01 | 找相似 |
| GB/T 16879-1997 | 掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则 | 现行 | 1998-03-01 | 找相似 |
| GB/T 34326-2017 | 表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度测量方法 | 废止 | 2018-08-01 | 找相似 |
| GB/T 34326-2026 | 表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度的测量方法 | 即将实施 | 2026-08-01 | 找相似 |
| DB13/T 6236-2025 | PAS系列投影光刻机同轴对准系统激光器更换及光路调整一般要求 | 现行 | 2026-01-16 | 找相似 |
| GB/T 17866-1999 | 掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则 | 现行 | 2000-06-01 | 找相似 |
| SJ/T 31080-2016 | 光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法 | 现行 | 2016-06-01 | 找相似 |
| GB/T 16880-1997 | 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则 | 现行 | 1998-03-01 | 找相似 |
| GB/T 16523-1996 | 圆形石英玻璃光掩模基板规范 | 现行 | 1997-05-01 | 找相似 |
| GB/T 15871-1995 | 硬面光掩模基板 | 现行 | 1996-08-01 | 找相似 |
| GB/T 15870-1995 | 硬面光掩模用铬薄膜 | 现行 | 1996-08-01 | 找相似 |
| GB/T 34178-2017 | 光掩模石英玻璃基板 | 现行 | 2018-08-01 | 找相似 |
| SJ/T 11516-2015 | 薄膜晶体管（TFT）用掩模版规范 | 现行 | 2015-10-01 | 找相似 |
| SJ/T 11863-2022 | 单片超大尺寸掩模板装载盒规范 | 现行 | 2023-01-01 | 找相似 |
| T/ZS 0344-2022 | 数字化无掩模激光直写光刻机 | 现行 | 2022-11-17 | —— |
| YY/T 1542-2017 | 数字化医用X射线设备自动曝光控制评价方法 | 现行 | 2018-04-01 | 找相似 |
| GB/T 16544-2008 | 无损检测 伽玛射线全景曝光照相检测方法 | 现行 | 2009-02-01 | 找相似 |