| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 15870-1995 | 硬面光掩模用铬薄膜 | 现行 | 1995-12-22 | 1996-08-01 |
| GB/T 15871-1995 | 硬面光掩模基板 | 现行 | 1995-12-22 | 1996-08-01 |
| SJ/T 11516-2015 | 薄膜晶体管（TFT）用掩模版规范 | 现行 | 2015-04-30 | 2015-10-01 |
| GB/T 16527-1996 | 硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范 | 现行 | 1996-09-09 | 1997-05-01 |
| T/CWAN 0093-2023 | 大型耐磨件硬面堆焊推荐工艺规范 | 现行 | 2023-03-29 | 2023-05-01 |
| GB/T 16880-1997 | 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则 | 现行 | 1997-06-20 | 1998-03-01 |
| GB/T 16523-1996 | 圆形石英玻璃光掩模基板规范 | 现行 | 1996-09-09 | 1997-05-01 |
| GB/T 16524-1996 | 光掩模对准标记规范 | 现行 | 1996-09-09 | 1997-05-01 |
| GB/T 17866-1999 | 掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则 | 现行 | 1999-09-13 | 2000-06-01 |
| GB/T 34178-2017 | 光掩模石英玻璃基板 | 现行 | 2017-09-07 | 2018-08-01 |
| GB/T 16879-1997 | 掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则 | 现行 | 1997-06-20 | 1998-03-01 |
| SJ/T 10274-1991 | 掩模对准曝光机测试方法 | 现行 | 1991-11-12 | 1992-01-01 |
| SJ/T 31080-2016 | 光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法 | 现行 | 2016-01-15 | 2016-06-01 |
| SJ/T 11863-2022 | 单片超大尺寸掩模板装载盒规范 | 现行 | 2022-10-20 | 2023-01-01 |
| T/ZS 0344-2022 | 数字化无掩模激光直写光刻机 | 现行 | 2022-11-10 | 2022-11-17 |
| GB/T 31227-2014 | 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法 | 现行 | 2014-09-30 | 2015-04-15 |
| NB/T 11342.2-2023 | 光伏发电站柔性薄膜光伏组件机械性能测试 第2部分：拉伸 | 现行 | 2023-12-28 | 2024-06-28 |
| GB/T 22462-2008 | 钢表面纳米、亚微米尺度薄膜 元素深度分布的定量测定 辉光放电原子发射光谱法 | 现行 | 2008-10-30 | 2009-06-01 |