| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| SJ/T 31080-2016 | 光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法 | 现行 | 2016-06-01 | 相似 |
| GB/T 16880-1997 | 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则 | 现行 | 1998-03-01 | 相似 |
| GB/T 16523-1996 | 圆形石英玻璃光掩模基板规范 | 现行 | 1997-05-01 | 相似 |
| GB/T 16524-1996 | 光掩模对准标记规范 | 现行 | 1997-05-01 | 相似 |
| GB/T 17866-1999 | 掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则 | 现行 | 2000-06-01 | 相似 |
| GB/T 15871-1995 | 硬面光掩模基板 | 现行 | 1996-08-01 | 相似 |
| GB/T 15870-1995 | 硬面光掩模用铬薄膜 | 现行 | 1996-08-01 | 相似 |
| GB/T 34178-2017 | 光掩模石英玻璃基板 | 现行 | 2018-08-01 | 相似 |
| GB/T 16879-1997 | 掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则 | 现行 | 1998-03-01 | 相似 |
| SJ/T 10274-1991 | 掩模对准曝光机测试方法 | 现行 | 1992-01-01 | 相似 |
| SJ/T 11516-2015 | 薄膜晶体管（TFT）用掩模版规范 | 现行 | 2015-10-01 | 相似 |
| SJ/T 11863-2022 | 单片超大尺寸掩模板装载盒规范 | 现行 | 2023-01-01 | 相似 |
| T/ZS 0344-2022 | 数字化无掩模激光直写光刻机 | 现行 | 2022-11-17 | —— |
| QX/T 769-2025 | 气溶胶激光雷达标准散射信号发生器 | 现行 | 2025-10-01 | 相似 |
| NB/T 10643-2021 | 风电场用静止无功发生器 技术要求与试验方法 | 现行 | 2021-10-26 | 相似 |
| NB/T 20673-2023 | 压水堆核电厂蒸汽发生器排污系统设计准则 | 现行 | 2023-11-26 | 相似 |
| QX/T 642-2022 | 自动标准气压发生器技术要求 | 现行 | 2022-04-01 | 相似 |
| NB/T 20610-2021 | 基于涡流检测技术的核电厂蒸汽发生器管板二次侧泥渣高度测量 | 现行 | 2021-10-26 | 相似 |