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中关村集成电路材料产业技术创新联盟 第2页

标准号标准名称状态发布日期实施日期
T/ICMTIA PC007-2021集成电路用氢氟酸现行2021-05-312021-07-30
T/ICMTIA CM0033-2023集成电路用氧化铝陶瓷制品现行2023-03-132023-04-30