集成电路用氢氟酸

T/ICMTIA PC007-2021其他标准

现行

更新日期:2026-09-12

标准状态

发布日期

2021-05-31

实施日期

2021-07-30

基础信息

标准号

T/ICMTIA PC007-2021

标准分类

标准层级

团体标准

主要技术内容

本文件规定了集成电路用氢氟酸的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存。本文件适用于集成电路制造过程中使用的氢氟酸。分子式:HF相对分子质量:20.01(按 2014 年国际相对原子质量)

起草单位

中巨芯科技有限公司

起草人

陈刚、周黎旸、童继红、张学良、贺辉龙、赵晓亚、程文海、朱智敏、蒋梁疏、杨建成、徐建仙

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