| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| SJ/T 11762-2020 | 半导体设备制造信息标识要求 | 现行 | 2020-12-09 | 2021-04-01 |
| SJ/T 11761-2020 | 200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范 | 现行 | 2020-12-09 | 2021-04-01 |
| SJ/T 11763-2020 | 半导体制造设备人机界面规范 | 现行 | 2020-12-09 | 2021-04-01 |
| SJ/T 11823-2022 | 集成电路塑封油压机 | 现行 | 2022-10-20 | 2023-01-01 |
| SJ/T 11780-2021 | 推板式电子陶瓷隧道窑能源消耗规范 | 现行 | 2021-03-05 | 2021-06-01 |
| SJ/T 11781-2021 | 推板式氢气炉能源消耗规范 | 现行 | 2021-03-05 | 2021-06-01 |
| SJ/T 11829.1-2022 | 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备 第1部分：管式PECVD设备 | 现行 | 2022-10-20 | 2023-01-01 |
| SJ/T 11829.2-2022 | 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备 第2部分：板式PECVD设备 | 现行 | 2022-10-20 | 2023-01-01 |
| SJ/T 11830-2022 | 晶体硅光伏电池智能制造 数据采集指南 | 现行 | 2022-10-20 | 2023-01-01 |
| SJ/T 11183-2022 | 旋转式涂覆设备通用规范 | 现行 | 2022-10-20 | 2023-01-01 |