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现行
2020-12-09
2021-04-01
SJ/T 11763-2020
工业和信息化部
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
制定
L95
31.55
基础标准
电子
行业标准
80909-2021
2021-03-05
适用于半导体制造设备
北京北方华创微电子装备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、北方华创科技集团股份有限公司等
付金生、冯亚彬、程朝阳 等
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
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