半导体制造设备人机界面规范

SJ/T 11763-2020 SJ电子

现行

标准状态

发布日期

2020-12-09

实施日期

2021-04-01

基础信息

标准号

SJ/T 11763-2020

批准发布部门

工业和信息化部

技术归口

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

制修订

制定

标准分类

中国标准分类号

L95

国际标准分类号

31.55

标准类别

基础标准

标准分类

电子

标准层级

行业标准

备案信息

备案号

80909-2021

备案日期

2021-03-05

适用范围

适用于半导体制造设备

起草单位

北京北方华创微电子装备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、北方华创科技集团股份有限公司等

起草人

付金生、冯亚彬、程朝阳 等

SJ/T 11763-2020 相关专题

SJ/T 11763-2020 相似标准

标准号 标准名称 状态 发布日期 实施日期
YS/T 679-2018 非本征半导体中少数载流子扩散长度的测试 表面光电压法 现行 2018-10-22 2019-04-01
GB/T 14048.6-2016 低压开关设备和控制设备 第4-2部分:接触器和电动机起动器 交流电动机用半导体控制器和起动器(含软起动器) 废止 2016-08-29 2017-03-01
SJ/T 10041-1991 半导体集成电路CMOS4000系列移位寄存器 现行 1991-04-08 1991-07-01
JB/T 6307.1-1992 电力半导体模块测试方法整流管臂对 现行 1992-06-26 1993-01-01
GB/T 249-2017 半导体分立器件型号命名方法 现行 2017-05-12 2017-12-01
GB/T 26070-2010 化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法 现行 2011-01-10 2011-10-01
GB/T 36358-2018 半导体光电子器件 功率发光二极管空白详细规范 现行 2018-06-07 2019-01-01
GB/T 39771.1-2021 半导体发光二极管光辐射安全 第1部分:要求与等级分类方法 现行 2021-03-09 2021-10-01
SJ/T 10436-1993 半导体电阻应变计空白详细规范 现行 1993-12-17 1994-06-01
T/ZZB 1718-2023 半导体封装用键合金丝 现行 2024-11-14 2024-12-14
GB/T 34590.11-2022 道路车辆 功能安全 第11部分:半导体应用指南 现行 2022-12-30 2023-07-01
YD/T 1687.1-2007 光通信用高速半导体激光器组件技术条件 第1部分:2.5Gb/s致冷型直接调制半导体激光器组件 现行 2007-09-29 2008-01-01
SJ/T 2658.1-2015 半导体红外发射二极管测量方法 第1部分:总则 现行 2015-10-10 2016-04-01
T/CCGA 90004-2023 半导体用尾气处理设备分解 移除效率的测试方法 现行 2023-12-18 2024-01-18
SJ/T 1830-2016 半导体分立器件 3DK101型NPN硅小功率开关晶体管详细规范 现行 2016-04-05 2016-09-01
SJ/T 10149-1991 电子元器件图形库 半导体分立器件图形 现行 1991-04-02 1991-07-01
T/GSEE 0011-2023 高压交流电路半导体开关设备技术规范 现行 2023-12-05 2023-12-05
T/SICA 008-2025 半导体IBO套刻设备验收规范 现行 2025-06-03 2025-07-03
SJ/T 1480-2016 半导体分立器件 3CG130型硅PNP高频小功率晶体管详细规范 现行 2016-04-05 2016-09-01
JB/T 7483-2005 半导体电阻应变式力传感器 现行 2005-05-18 2005-11-01
JB/T 7062-1993 半导体变流器联结的标志代号 现行 1993-10-08 1994-01-01
SJ/T 2658.15-2016 半导体红外发射二极管测量方法 第15部分:热阻 现行 2016-01-15 2016-06-01
GB/T 6217-2026 半导体分立器件 小功率双极型晶体管空白详细规范 即将实施 2026-03-31 2026-10-01
SJ/T 11849-2022 半导体分立器件3DG3500、3DG3501型NPN硅高频小功率 晶体管详细规范 现行 2022-10-20 2023-01-01
SJ/T 2658.11-2015 半导体红外发射二极管测量方法 第11部分:响应时间 现行 2015-10-10 2016-04-01
SJ/T 2307.1-2020 电子元器件详细规范 浪涌抑制型压敏电阻器 MYL1型防雷用氧化锌压敏电阻器 评定水平E 现行 2020-12-09 2021-04-01