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半导体制造设备人机界面规范

SJ/T 11763-2020SJ电子

现行

标准状态

发布日期

2020-12-09

实施日期

2021-04-01

基础信息

标准号

SJ/T 11763-2020

批准发布部门

工业和信息化部

技术归口

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

制修订

制定

标准分类

中国标准分类号

L95

国际标准分类号

31.55

标准类别

基础标准

标准分类

电子

标准层级

行业标准

备案信息

备案号

80909-2021

备案日期

2021-03-05

适用范围

适用于半导体制造设备

起草单位

北京北方华创微电子装备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、北方华创科技集团股份有限公司等

起草人

付金生、冯亚彬、程朝阳 等

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