| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 30868-2014 | 碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法 | 废止 | 2014-07-24 | 2015-02-01 |
| GB/T 30856-2014 | LED外延芯片用砷化镓衬底 | 废止 | 2014-07-24 | 2015-04-01 |
| GB/T 14140-2009 | 硅片直径测量方法 | 废止 | 2009-10-30 | 2010-06-01 |
| SJ/T 11499-2015 | 碳化硅单晶电学性能的测试方法 | 废止 | 2015-04-30 | 2015-10-01 |
| SJ/T 11502-2015 | 碳化硅单晶抛光片规范 | 废止 | 2015-04-30 | 2015-10-01 |
| SJ/T 11493-2015 | 硅衬底中氮浓度的二次离子质谱测量方法 | 废止 | 2015-04-30 | 2015-10-01 |
| GB/T 47902-2026 | 金刚石单晶抛光片 | 即将实施 | 2026-07-02 | 2027-02-01 |
| GB/T 47901-2026 | 激光器外延芯片用砷化镓衬底 | 即将实施 | 2026-07-02 | 2027-02-01 |
| GB/T 16596-1996 | 确定晶片坐标系规范 | 废止 | 1996-11-04 | 1997-04-01 |
| GB/T 16595-1996 | 晶片通用网格规范 | 废止 | 1996-11-04 | 1997-04-01 |
| GB/T 12964-2003 | 硅单晶抛光片 | 废止 | 2003-06-16 | 2004-01-01 |
| GB/T 12965-2005 | 硅单晶切割片和研磨片 | 废止 | 2005-09-19 | 2006-04-01 |
| GB/T 20230-2006 | 磷化铟单晶 | 废止 | 2006-04-21 | 2006-10-01 |
| GB/T 20229-2006 | 磷化镓单晶 | 废止 | 2006-04-21 | 2006-10-01 |
| GB/T 20228-2006 | 砷化镓单晶 | 废止 | 2006-04-21 | 2006-10-01 |
| GB/T 11071-2006 | 区熔锗锭 | 废止 | 2006-07-18 | 2006-11-01 |
| GB/T 11070-2006 | 还原锗锭 | 废止 | 2006-07-18 | 2006-11-01 |
| GB/T 11069-2006 | 高纯二氧化锗 | 废止 | 2006-07-18 | 2006-11-01 |
| GB/T 11094-2007 | 水平法砷化镓单晶及切割片 | 废止 | 2007-09-11 | 2008-02-01 |
| GB/T 14139-2009 | 硅外延片 | 废止 | 2009-10-30 | 2010-06-01 |