首页/GB/T 14146-2021 相似标准

硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法

Test method for carrier concentration of silicon epitaxial layers—Capacitance-voltage method

GB/T 14146-2021推荐性国家标准

现行

上传时间：2026-03-16
格式：pdf

GB/T 14146-2021 相似标准 第7页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
T/IAWBS 007-20184H 碳化硅同质外延层厚度的红外反射测量方法现行2018-12-062018-12-17
YS/T 1745-2025分子束外延（MBE）用高纯铝源现行2025-04-102025-11-01
T/CNIA 0061-2020硅外延用四氯化硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法现行2020-05-272020-08-01
T/ICMTIA SM006-2021集成电路线宽65nm-14nm逻辑工艺用300mm P/P-型硅外延片现行2021-05-312021-07-30
T/ZJATA 0017-2023制备碳化硅半导体材料用化学气相沉积法(CVD)外延设备现行2023-06-202023-07-20
ZJM-002-3547-2023高压MOSFET用200 mm硅外延片现行2023-11-072023-11-07
GB/T 19199-2015半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法现行2015-12-102016-07-01
MH/T 6139-2025舱内非金属材料燃烧产生毒性气体的浓度测试方法现行2025-08-092025-09-01
DL/T 1915-2018火电厂低浓度颗粒物测试技术规范 重量法现行2018-12-252019-05-01
JC/T 2110-2012室内空气离子浓度测试方法现行2012-12-282013-06-01
TB/T 1912-2005铁路运营隧道空气中机车废气允许浓度和测试方法现行2005-06-272005-12-01
GB/T 17170-2015半绝缘砷化镓单晶深施主EL2浓度红外吸收测试方法现行2015-12-102016-07-01
JT 464-2001港口矿石粉尘浓度控制指标及测试方法现行2001-12-142002-05-01
JT/T 1376-2021港口煤炭粉尘浓度控制指标和测试方法现行2021-06-182021-10-01
GB/T 45729-2025激光材料中激活离子浓度测试方法现行2025-05-302025-09-01
T/CSP T/BSPT003-2018光散射原理细颗粒物（PM2.5）质量浓度测量仪性能测试方法现行2018-02-082018-05-08
T/BSPT 003-2020粉体技术 光散射原理细颗粒物（PM2.5）质量浓度测量仪性能测试方法现行2020-01-082020-01-16
T/CSP T/BSPT003-2018光散射原理细颗粒物（PM2.5）质量浓度测量仪性能测试方法现行2018-02-082018-05-08