碳化硅外延片表面缺陷的测试 激光散射法

Test method for surface defects on silicon carbide epitaxial wafers—Laser scattering method

GB/T 42902-2023 推荐性国家标准

现行

GB/T 42902-2023 相似标准 第10页

更新时间 2026-10-25
标准号 标准名称 状态 实施日期 相似标准
SN/T 1039-2002 进出口吨包装碳化硅取样制样方法 废止 2002-06-01 找相似
SJ/T 11502-2015 碳化硅单晶抛光片规范 废止 2015-10-01 找相似
JB/T 10645-2006 碳化硅特种制品 氮化硅结合碳化硅 烧嘴套 废止 2007-05-01 找相似
JB/T 6374-1992 机械密封用碳化硅密封环 技术条件 废止 1993-01-01 找相似
JB/T 10376-2002 碳化硅特种制品 氧化硅结合碳化硅板 废止 2003-04-01 找相似
JB/T 10152-2000 碳化硅特种制品 氮化硅结合碳化硅板 废止 2000-06-01 找相似
JB/T 8340-1996 热电偶用碳化硅保护管 废止 1996-10-01 找相似
DB61/T 1250-2019 Sic(碳化硅)材料半导体分立器件通用规范 [陕西省] 废止 2019-07-25 找相似
DB34/T 2872-2017 机械密封用反应烧结碳化硅陶瓷密封件 [安徽省] 废止 2017-07-30 找相似
GB 7327-1987 交流系统用碳化硅阀式避雷器 废止 1987-10-01 找相似
GB 11527-1989 车间空气中碳化硅粉尘卫生标准 废止 1990-02-01 找相似
GB/T 3045-2003 普通磨料 碳化硅化学分析方法 废止 2004-04-01 找相似
GB/T 2480-2008 普通磨料 碳化硅 废止 2009-01-01 找相似
GB/T 21944.3-2008 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅窑具 第3部分:辊棒 废止 2009-01-01 找相似
GB/T 21944.1-2008 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅窑具 第1部分:方梁 废止 2009-01-01 找相似
GB/T 7327-2008 交流系统用碳化硅阀式避雷器 废止 2009-03-01 找相似
GB/T 16555-2008 含碳、碳化硅、氮化物耐火材料化学分析方法 废止 2009-04-01 找相似
GB/T 21944.4-2009 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅窑具 第4部分:烧嘴套 废止 2009-12-01 找相似