碳化硅外延片表面缺陷的测试 激光散射法

Test method for surface defects on silicon carbide epitaxial wafers—Laser scattering method

GB/T 42902-2023 推荐性国家标准

现行

GB/T 42902-2023 相似标准 第12页

更新时间 2026-10-25
标准号 标准名称 状态 实施日期 相似标准
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