光学元件表面疵病定量检测方法 显微散射暗场成像法

Methodology for the quantitative inspection of the defect on optics surface—Microscopic scattering dark-field imaging

GB/T 41805-2022推荐性国家标准

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更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
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