硅基MEMS制造技术 氢氧化钾腐蚀工艺规范

Silicon-based MEMS fabrication technology - Specification for KOH etch process

GB/T 28275-2012推荐性国家标准

现行

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GB/T 28275-2012 相似标准 第14页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
YS/T 1534-2022单水氢氧化铯现行2022-09-302023-04-01
YS/T 1658.1-2023粗氢氧化镍钴化学分析方法 第1部分:镍含量的测定 丁二酮肟重量法现行2023-12-202024-07-01
YS/T 1658.2-2023粗氢氧化镍钴化学分析方法 第2部分:铬、磷、锰含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法现行2023-12-202024-07-01
YS/T 1658.3-2023粗氢氧化镍钴化学分析方法 第3部分:氟离子含量的测定 离子选择性电极法现行2023-12-202024-07-01
YS/T 1658.5-2023粗氢氧化镍钴化学分析方法 第5部分:水分含量的测定 重量法现行2023-12-202024-07-01
YS/T 1658.4-2023粗氢氧化镍钴化学分析方法 第4部分:铜、铝、锂、锌、镉、铅、砷含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法现行2023-12-202024-07-01
YS/T 1658.7-2023粗氢氧化镍钴化学分析方法 第7部分:锰含量的测定 电位滴定法现行2023-12-202024-07-01
YS/T 1658.6-2023粗氢氧化镍钴化学分析方法 第6部分:盐酸不溶物含量的测定 重量法现行2023-12-202024-07-01
YS/T 1229.1-2018粗氢氧化镍化学分析方法 第1部分:镍量的测定 丁二酮肟重量法现行2018-04-302018-09-01
YS/T 667.1-2008化学品氧化铝化学分析方法 第1部分:填料用氢氧化铝及拟薄水铝石中镉、铬、钒含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法现行2008-03-122008-09-01
YS/T 1445.1-2021镍钴铝三元素复合氢氧化物化学分析方法 第1部分:镍含量的测定 丁二酮肟重量法现行2021-12-022022-04-01
YS/T 1443-2021镍钴二元素复合氢氧化物现行2021-12-022022-04-01
YS/T 1444-2021镍钴钛三元素复合氢氧化物现行2021-12-022022-04-01
YS/T 1460-2021粗氢氧化镍钴现行2021-12-022022-04-01
YS/T 1523-2022镍钴铝锆复合氢氧化物现行2022-09-302023-04-01
YS/T 1449-2021镍钴锰锆复合氢氧化物现行2021-12-022022-04-01
YS/T 1229.2-2018粗氢氧化镍化学分析方法 第2部分:钴量的测定 火焰原子吸收光谱法现行2018-04-302018-09-01
YS/T 1229.3-2018粗氢氧化镍化学分析方法 第3部分:铜、钴、锰、钙、镁、锌、铁、铝、铅、砷和镉量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法现行2018-04-302018-09-01