硅基MEMS制造技术 氢氧化钾腐蚀工艺规范

Silicon-based MEMS fabrication technology - Specification for KOH etch process

GB/T 28275-2012推荐性国家标准

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GB/T 28275-2012 相似标准 第15页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
SJ/T 11636-2016电子工业用显影液中四甲基氢氧化铵的测定 自动电位滴定法现行2016-04-052016-09-01
HG/T 4506-2023工业氢氧化钴现行2023-07-282024-02-01
HG/T 5567-2019水处理剂用氢氧化铝现行2019-12-242020-07-01
HG/T 2566-2014工业氢氧化钡现行2014-12-242015-06-01
HG/T 4699-2014再生氢氧化铜现行2014-12-242015-06-01
HG/T 4832-2015工业八水氢氧化锶现行2015-07-142016-01-01
GB/T 11212-2026化纤用氢氧化钠即将实施2026-05-252026-12-01
QB/T 5701-2022口腔清洁护理用品 牙膏用氢氧化铝现行2022-04-082022-10-01
GB/T 20102-2026玻璃纤维网布耐碱性试验方法 氢氧化钠溶液浸泡法即将实施2026-05-252026-12-01
XB/T 234-2020氢氧化镧现行2020-12-092021-04-01
XB/T 222-2020氢氧化铈现行2020-12-092021-04-01
T/GXAS 534-2023酸性污水处理用氢氧化钙现行2023-07-272023-08-02
T/GXAS 532-2023酸性废气处理用氢氧化钙现行2023-07-272023-08-02
ZJM-005-3423-2023单晶正极材料用镍钴锰三元素复合氢氧化物现行2023-07-122023-07-12
HG/T 4506-2013工业氢氧化钴废止2013-10-172014-03-01
HG/T 3607-2007工业氢氧化镁废止2007-04-132007-10-01
HG/T 4120-2009工业氢氧化钙废止2009-12-042010-06-01
XB/T 222-2008氢氧化铈废止2008-02-012008-07-01