硅基MEMS制造技术 氢氧化钾腐蚀工艺规范

Silicon-based MEMS fabrication technology - Specification for KOH etch process

GB/T 28275-2012推荐性国家标准

现行

上传时间:2026-03-19
格式:pdf

GB/T 28275-2012 相似标准 第5页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
JB/T 7948.9-1999熔炼焊剂化学分析方法 火焰光度法测定氧化钠、氧化钾量废止1999-06-242000-01-01
JB/T 7948.9-1995熔炼焊剂化学分析方法 火焰光度法测定氧化钠、氧化钾量废止1996-04-141996-04-14
YB/T 190.5-2001连铸保护渣化学分析方法 火焰原子吸收光谱法测定氧化钾、氧化钠含量废止2001-07-092002-01-01
DB13/T 5090-2019连铸保护渣 氧化钾和氧化钠含量的测定 波长色散 X 射线荧光光谱法废止2019-11-282019-12-28
DB63/T 1423-2015硝酸钾中氧化钾含量的测定 四苯硼钠季胺盐容量法废止2015-09-242015-12-20
DB51/T 2045-2015高纯度五氧化二钒 氧化钾和氧化钠含量的测定方法废止2015-09-252016-01-01
DB63/T 1318-2014氯化钾中氧化钾含量的测定 四苯硼钠季胺盐容量法废止2014-09-222014-11-01
GB/T 6609.6-2004氧化铝化学分析方法和物理性能测定方法 火焰光度法测定氧化钾含量废止2004-02-052004-07-01
GB/T 38216.9-2026钢渣 氧化钠和氧化钾含量的测定即将实施2026-07-302027-02-01
GB/T 45479-2025锰矿石与锰精矿 氧化钾、氧化钠含量的测定 火焰原子发射光谱法现行2025-03-282025-07-01
T/QAS 018-2020氯化钾中氧化钾含量的测定 四苯硼钠季胺盐容量法现行2020-10-262020-10-30
YB/T 6285-2024冶金用膨润土 二氧化硅、氧化钙、氧化镁、三氧化二铝、二氧化钛、氧化钾、氧化钠、三氧化二铁、五氧化二磷含量的测定 波长色散X射线荧光光谱法现行2024-10-242025-05-01
YS/T 575.9-2025铝土矿石化学分析方法 第 9部分:氧化钾、氧化钠含量的测定 火焰原子吸收光谱法现行2025-08-192026-03-01
DZ/T 0452.1-2023稀土矿石化学分析方法 第1部分:二氧化硅、三氧化二铝、三氧化二铁、氧化钙、氧化镁、氧化钾、氧化钠、二氧化钛、氧化锰、五氧化二磷、锶和钡含量的测定 偏硼酸锂熔融—电感耦合等离子体原子发射光谱法现行2023-10-312024-01-01
T/QAS 018-2020氯化钾中氧化钾含量的测定 四苯硼钠季胺盐容量法现行2020-10-262020-10-30
YB/T 4220-2026五氧化二钒 氧化钾和氧化钠含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法即将实施2026-04-162026-11-01
YS/T 509.1-2026锂辉石、锂云母精矿化学分析方法 第 1 部分:氧化锂、氧化钾、氧化钠、氧化铷、氧化铯含量的测定 原子吸收光谱法即将实施2026-04-152026-11-01
DB51/T 3208-2024产品碳足迹评价技术规范 电池级碳酸锂、氢氧化锂现行2024-12-032024-12-29