Vacuum gauges—Definitions and specifications for quadrupole mass spectrometers
现行
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 40333-2021 | 真空计 四极质谱仪的定义与规范 | 现行 | 2021-05-21 | 2021-12-01 |
| GB/Z 42625-2023 | 真空技术 真空计 用于分压力测量的四极质谱仪特性 | 现行 | 2023-05-23 | |
| GB/T 43916-2024 | 真空技术 真空计 电容薄膜真空计的规范、校准和测量不确定度 | 现行 | 2024-04-25 | 2024-04-25 |
| GB/T 42604-2023 | 真空技术 真空计 热阴极电离真空计规范 | 现行 | 2023-05-23 | 2023-05-23 |
| GB/T 45856-2025 | 真空技术 真空计 皮拉尼真空计的规范、校准和测量不确定度 | 现行 | 2025-08-01 | 2025-11-01 |
| GB/T 46081-2025 | 真空技术 真空计 磁悬浮转子真空计的规范、校准和测量不确定度 | 现行 | 2025-08-29 | 2025-08-29 |
| T/GVS 005-2022 (2) | 半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范 | 现行 | 2022-03-28 | 2022-03-28 |
| T/BEA 43008-2024 | （10-1~10-7）Pa真空计现场校准规范 | 现行 | 2024-09-10 | 2024-09-18 |
| T/GVS 005-2022 | 半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范 | 现行 | 2022-03-28 | 2022-03-28 |
| JJF 1962-2022 | 磁悬浮转子真空计校准规范 | 现行 | 2022-04-29 | 2022-10-29 |
| JJF 1062-2022 | 电离真空计校准规范 | 现行 | 2022-04-29 | 2022-10-29 |
| JJF 1503-2015 | 电容薄膜真空计校准规范 | 现行 | 2015-01-30 | 2015-04-30 |
| JJF 1050-2023 | 工业用热传导真空计校准规范 | 现行 | 2023-06-30 | 2023-12-30 |
| GB/T 34873-2017 | 真空计 与标准真空计直接比较校准 | 现行 | 2017-11-01 | 2018-05-01 |
| GB/T 34876-2017 | 真空技术 真空计 与标准真空计直接比较校准结果的不确定度评定 | 现行 | 2017-11-01 | 2018-05-01 |
| JB/T 6873-2005 | 热偶真空计 | 现行 | 2005-05-18 | 2005-11-01 |
| JB/T 10074-2004 | 电阻真空计 技术条件 | 现行 | 2004-03-12 | 2004-08-01 |
| JB/T 7463-2005 | 热阴极电离真空计 | 现行 | 2005-05-18 | 2005-11-01 |