掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则

Guidelines for precision and accuracy expression for mask writing equipment

GB/T 16879-1997推荐性国家标准

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更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
GB/T 20957.5-2007精密加工中心检验条件 第5部分:工件夹持托板的定位精度和重复定位精度检验现行2007-06-252007-11-01
GB/T 20957.7-2007精密加工中心检验条件 第7部分:精加工试件精度检验现行2007-06-252007-11-01
GB/T 38940-2020硅组件用精密封接合金现行2020-06-022021-01-01
GB/T 6973-2005单粒(精密)播种机试验方法现行2005-10-242006-05-01
GB/T 30573-2014精密冲裁件 通用技术条件现行2014-05-062014-12-01
DB65/T 3843.5-2015棉花生产全程机械化技术规程 第5部分:铺管铺膜精密播种作业现行2015-12-312016-02-01
GB/T 11026.5-2010电气绝缘材料 耐热性 第5部分:老化烘箱 温度达300℃的精密烘箱现行2011-01-142011-07-01
GB/T 20957.4-2007精密加工中心检验条件 第4部分:线性和回转轴线的定位精度和重复定位精度检验现行2007-07-262007-12-01
GB/T 16404.3-2006声学 声强法测定噪声源声功率级 第3部分:扫描测量精密法现行2006-05-082006-11-01
GB/T 30477-2013木工机床 双修边精密圆锯机 术语和精度现行2013-12-312014-10-01
SN/T 5058-2018化学品 基于精密动态暴露的全身吸入毒性试验现行2018-03-122018-10-01
GB/T 1227-2017精密压力表现行2017-12-292018-07-01
GB/T 29547-2013开式高速精密压力机 精度现行2013-06-092014-01-01
GB/T 13297-2021精密合金包装、标志和质量证明书的一般规定现行2021-04-302021-11-01
GB/T 24187-2023冷拔精密单层焊接钢管现行2023-08-062024-03-01
GB/T 34897-2017滚动轴承 工业机器人RV减速器用精密轴承现行2017-11-012018-05-01
GB/T 37797-2019精密合金 牌号现行2019-08-302020-07-01
GB/T 15013-1994精密合金用磁学特性和磁学量术语废止1994-04-041994-05-01