掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则

Guidelines for precision and accuracy expression for mask writing equipment

GB/T 16879-1997推荐性国家标准

现行

上传时间:2026-03-08
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GB/T 16879-1997 相似标准 第9页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
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