掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则

Guidelines for precision and accuracy expression for mask writing equipment

GB/T 16879-1997推荐性国家标准

现行

上传时间:2026-03-08
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GB/T 16879-1997 相似标准 第8页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
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T/ZZB 0217-2017高速列车制动系统用精密不锈钢无缝管现行2017-09-152017-09-30
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SJ/T 11299.3-2005高密度数字激光视盘系统技术规范 第3部分:高密度数字激光视盘音视频数据规范现行2005-02-182005-02-18