硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法

Trichlorosilane for silicon epitaxy - Determination of boron,aluminium,phosphorus,vanadium,chrome,manganese,iron,cobalt,nickel,copper,molybdenum,arsenic and antimony content - Inductively coupled plasma mass spectrometric method

GB/T 29056-2012推荐性国家标准

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更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态实施日期相似标准
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T/FSI 016-2019甲基低含氢硅油现行2019-06-01——
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DB53/T 592-2014三氯化钌化学分析方法 钌量的测定 氢还原重量法 [云南省]废止2014-09-01找相似
GB/T 6730.6-1986铁矿石化学分析方法 三氯化铁-乙酸钠容量法测定金属铁量废止1987-08-01找相似