| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
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| T/CNIA 0062-2020 | 电子工业用高纯氢氟酸 | 现行 | 2020-08-01 | —— |
| T/ICMTIA PC007-2021 | 集成电路用氢氟酸 | 现行 | 2021-07-30 | —— |
| T/SDAS 402-2022 | 副产氢氟酸 | 现行 | 2022-06-30 | —— |
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