蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法

Test method for determining geometrical parameters of patterns on patterned sapphire substrate

GB/T 47089-2026推荐性国家标准

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GB/T 47089-2026 相似标准 第5页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
GB/T 33523.601-2017产品几何技术规范(GPS) 表面结构 区域法 第601部分:接触(触针)式仪器的标称特性现行2017-02-282017-09-01
GB/T 33523.6-2017产品几何技术规范(GPS) 表面结构 区域法 第6部分:表面结构测量方法的分类现行2017-02-282017-09-01
GB/T 6062-2009产品几何技术规范(GPS) 表面结构 轮廓法 接触(触针)式仪器的标称特性现行2009-03-162009-11-01
GB/T 3505-2009产品几何技术规范(GPS) 表面结构 轮廓法 术语、定义及表面结构参数现行2009-03-162009-11-01
GB/T 19600-2004产品几何量技术规范(GPS) 表面结构 轮廓法 接触(触针)式仪器的校准现行2004-11-112005-07-01
GB/T 19067.2-2004产品几何量技术规范(GPS) 表面结构 轮廓法测量标准 第2部分:软件测量标准现行2004-11-112005-07-01
GB/T 19067.1-2003产品几何量技术规范(GPS) 表面结构 轮廓法 测量标准 第1部分:实物测量标准现行2003-04-152003-11-01
GB/T 18778.2-2003产品几何量技术规范(GPS) 表面结构 轮廓法 具有复合加工特征的表面 第2部分: 用线性化的支承率曲线表征高度特性现行2003-04-152003-11-01
GB/T 33523.1-2020产品几何技术规范(GPS) 表面结构 区域法 第1部分:表面结构的表示法现行2020-12-142021-07-01
GB/T 39741.2-2021滑动轴承 公差 第2部分:轴和止推轴肩的几何公差及表面粗糙度现行2021-03-092021-10-01
GB/T 14495-2009产品几何技术规范(GPS) 表面结构 轮廓法 木制件表面粗糙度比较样块现行2009-03-162009-11-01
GB/T 42659-2023表面化学分析 扫描探针显微术 采用扫描探针显微镜测定几何量:测量系统校准现行2023-08-062024-03-01
GB/T 33523.3-2022产品几何技术规范(GPS) 表面结构 区域法 第3部分:规范操作集现行2022-12-302023-04-01
GB/T 33523.603-2022产品几何技术规范(GPS) 表面结构 区域法 第603部分:非接触(相移干涉显微)式仪器的标称特性现行2022-12-302023-04-01
GB/T 33523.604-2022产品几何技术规范(GPS) 表面结构 区域法 第604部分:非接触(相干扫描干涉)式仪器的标称特性现行2022-12-302023-04-01
GB/T 33523.605-2022产品几何技术规范(GPS) 表面结构 区域法 第605部分:非接触(点自动对焦探针)式仪器的标称特性现行2022-12-302023-04-01
GB/T 33523.602-2022产品几何技术规范(GPS) 表面结构 区域法 第602部分:非接触(共聚焦色差探针)式仪器的标称特性现行2022-12-302023-04-01
GB/T 33523.606-2022产品几何技术规范(GPS) 表面结构 区域法 第606部分:非接触(变焦)式仪器的标称特性现行2022-12-302023-04-01