Test method for determining geometrical parameters of patterns on patterned sapphire substrate
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 18778.1-2002 | 产品几何量技术规范(GPS) 表面结构 轮廓法 具有复合加工特征的表面 第1部分:滤波和一般测量条件 | 现行 | 2002-07-15 | 2003-01-01 |
| GB/T 15757-2002 | 产品几何量技术规范(GPS) 表面缺陷 术语、定义及参数 | 现行 | 2002-07-15 | 2003-01-01 |
| GB/T 33523.72-2022 | 产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第72部分：XML文件格式x3p | 现行 | 2022-12-30 | 2023-04-01 |
| GB/T 40810.1-2021 | 产品几何技术规范（GPS） 生产过程在线测量 第1部分：几何特征（尺寸、表面结构）的在线检测与验证 | 现行 | 2021-10-11 | 2022-05-01 |
| GB/T 16747-2009 | 产品几何技术规范（GPS） 表面结构 轮廓法 表面波纹度词汇 | 现行 | 2009-03-16 | 2009-11-01 |
| GB/T 7220-2004 | 产品几何量技术规范(GPS) 表面结构 轮廓法 表面粗糙度 术语 参数测量 | 现行 | 2004-11-11 | 2005-07-01 |
| GB/T 33523.600-2025 | 产品几何技术规范（GPS） 表面结构：区域法 第600部分：区域形貌测量方法的计量特性 | 现行 | 2025-03-28 | 2025-03-28 |
| GB/T 33523.73-2025 | 产品几何技术规范（GPS） 表面结构：区域法 第73部分：实物标准表面缺陷的术语和定义 | 现行 | 2025-05-30 | 2025-09-01 |
| GB/T 33523.70-2020 | 产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第70部分：实物测量标准 | 现行 | 2020-12-14 | 2021-07-01 |
| GB/T 33523.71-2020 | 产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第71部分：软件测量标准 | 现行 | 2020-12-14 | 2021-07-01 |
| GB/T 33523.700-2025 | 产品几何技术规范（GPS） 表面结构：区域法 第700部分：区域形貌测量仪器的校准、调整和验证 | 现行 | 2025-05-30 | 2025-09-01 |
| GB/T 12472-2003 | 产品几何量技术规范(GPS) 表面结构 轮廓法 木制件表面粗糙度参数及其数值 | 现行 | 2003-03-06 | 2003-11-01 |
| GB/T 1031-2009 | 产品几何技术规范（GPS） 表面结构 轮廓法 表面粗糙度参数及其数值 | 现行 | 2009-03-16 | 2009-11-01 |
| GB/T 10610-1998 | 产品几何技术规范 表面结构 轮廓法评定表面结构的规则和方法 | 废止 | 1998-08-28 | 1999-07-01 |
| GB/T 3505-2000 | 产品几何技术规范 表面结构 轮廓法 表面结构的术语、定义及参数 | 废止 | 2000-07-24 | 2000-12-01 |
| GB/T 6062-2002 | 产品几何量技术规范(GPS) 表面结构 轮廓法 接触(触针)式仪器的标称特性 | 废止 | 2002-01-10 | 2002-07-01 |
| GB/T 18777-2002 | 产品几何量技术规范(GPS) 表面结构 轮廓法 相位修正滤波器的计量特性 | 废止 | 2002-07-15 | 2003-01-01 |
| GB/T 33523.2-2026 | 产品几何技术规范（GPS） 表面结构：区域法 第2部分：术语、定义及表面结构参数 | 即将实施 | 2026-07-02 | 2026-11-01 |