真空技术 真空计 热阴极电离真空计规范

Vacuum technology—Vacuum gauges—Specifications for hot cathode ionization gauges

GB/T 42604-2023推荐性国家标准

现行

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更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
GB/T 30434-2013电阻真空计通用技术条件现行2013-12-312014-08-01
JB/T 6873-1993热偶真空计 技术条件废止1993-07-091994-01-01
GB/T 34873-2017真空计 与标准真空计直接比较校准现行2017-11-012018-05-01
JB/T 6873-2005热偶真空计现行2005-05-182005-11-01
GB/T 40333-2021真空计 四极质谱仪的定义与规范现行2021-05-212021-12-01
T/GVS 005-2022 (2)半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范现行2022-03-282022-03-28
T/BEA 43008-2024(10-1~10-7)Pa真空计现场校准规范现行2024-09-102024-09-18
T/GVS 005-2022半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范现行2022-03-282022-03-28
JJF 1962-2022磁悬浮转子真空计校准规范现行2022-04-292022-10-29
JJG 159-2022双活塞式压力真空计现行2022-04-292022-10-29
JJG 2022-2009真空计量器具现行2009-07-302010-01-30
T/CGMA 0601-2021便携式真空计校准装置现行2021-09-302021-11-01
JB/T 15418-2026活塞式压力真空计即将实施2026-04-282026-11-02
JJG 932-1998压阻真空计现行1998-05-141998-10-01
JJG 51-2003带平衡液柱活塞式压力真空计现行2003-03-052003-09-01
JJG 236-2009活塞式压力真空计现行2009-07-302010-01-30
JJF 1503-2015电容薄膜真空计校准规范现行2015-01-302015-04-30
JJF 1050-2023工业用热传导真空计校准规范现行2023-06-302023-12-30