硅晶片上浅腐蚀坑检测的测试方法

practice for shallow etch pit detection on silicon

GB/T 26066-2010推荐性国家标准

现行

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GB/T 26066-2010 相似标准 第7页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
YY/T 1427-2016外科植入物 可植入材料及医疗器械静态和动态腐蚀试验的测试溶液和条件现行2016-01-262017-01-01
QB/T 1901.2-2006表壳体及其附件 金合金覆盖层 第2部分:纯度、厚度、耐腐蚀性能和附着力的测试废止2006-09-142007-05-01
DB41/T 1294-2016电站锅炉水冷壁高温硫腐蚀测试与评价废止2016-09-072016-12-06
GB/T 38020.2-2019表壳体及其附件 金合金覆盖层 第2部分:纯度、厚度、耐腐蚀性能和附着力的测试现行2019-08-302020-03-01
QB/T 190.2-1993表壳体及其附件,金合金覆盖层 第二部分 纯度、厚度、耐腐蚀性能和结合强度的测试现行1994-01-061994-08-01
T/CPQS A0009-2021乘用车耐腐蚀性能测试评价规则现行2021-10-082021-10-09
T/CASAS 053-2025氮化铝抛光片位错密度的测试腐蚀坑法现行2025-05-202025-05-20
DB61/T 1367-2020CO?驱油管内腐蚀挂环制备、安装和检测技术规范现行2020-09-152020-10-15
SY/T 7464-2020耐腐蚀合金双金属复合管焊接及无损检测技术标准废止2020-10-232021-02-01
GB/T 43658.1-2024无损检测 管道腐蚀及沉积物X和伽马射线检测 第1部分:切向射线检测现行2024-03-152024-03-15
GB/T 43658.2-2024无损检测 管道腐蚀及沉积物X和伽马射线检测 第2部分:双壁射线检测现行2024-03-152024-03-15
DL/T 285-2012矿物绝缘油腐蚀性硫检测法 裹绝缘纸铜扁线法现行2012-01-042012-03-01
GB/T 43315-2023硅片流动图形缺陷的检测腐蚀法现行2023-11-272024-06-01
GB/T 43667-2024钢筋混凝土腐蚀监检测技术规范现行2024-03-152024-10-01
DB21/T 3355-2020水利水电工程土壤对钢结构腐蚀性检测技术规范现行2020-12-302021-01-30
T/QGCML 3967-2024化工场仓库腐蚀性气体智能检测分析系统现行2024-03-272024-04-11
T/ZJASE 018-2022压力管道腐蚀超声导波检测(磁致伸缩法)现行2022-12-302023-03-01
T/GDCKCJH 001-2019常压金属储罐底板腐蚀检测及评价现行2019-05-152019-06-01