硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范

Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the SOI wafer based MEMS process

GB/T 32814-2016推荐性国家标准

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GB/T 32814-2016 相似标准 第10页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
JB/T 5992.2-1992机械制造工艺方法分类与代码 铸造现行1992-07-171993-07-01
JB/T 5992.1-1992机械制造工艺方法分类与代码 总则现行1992-07-171993-07-01
JB/T 5060-2006工艺装备制造与使用管理导则现行2006-05-062006-10-01
JB/T 5992.7-1992机械制造工艺方法分类与代码 热处理现行1992-07-171993-07-01
JB/T 5992.8-1992机械制造工艺方法分类与代码 覆盖层现行1992-07-171993-07-01
JB/T 5992.10-1992机械制造工艺方法分类与代码 其他工艺方法现行1992-07-171993-07-01
JB/T 5992.3-1992机械制造工艺方法分类与代码 压力加工现行1992-07-171993-07-01
JB/T 5992.6-1992机械制造工艺方法分类与代码 特种加工现行1992-07-171993-07-01
JB/T 13340-2018再制造内燃机 缸盖工艺规范现行2018-02-092018-10-01
JB/T 5992.4-1992机械制造工艺方法分类与代码 焊接现行1992-07-171993-07-01
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