硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范

Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the SOI wafer based MEMS process

GB/T 32814-2016推荐性国家标准

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GB/T 32814-2016 相似标准 第11页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
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JB/T 12744-2016再制造内燃机 起动机工艺规范现行2016-04-052016-09-01
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JB/T 12737-2016再制造内燃机 喷油器总成工艺规范现行2016-04-052016-09-01
JB/T 12743-2016再制造内燃机 增压器工艺规范现行2016-04-052016-09-01
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