硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法

Test method for detection of oxidation induced defects in polished silicon wafers

GB/T 4058-2009推荐性国家标准

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GB/T 4058-2009 相似标准 第6页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
GB/T 18032-2000砷化镓单晶AB微缺陷检验方法现行2000-04-032000-09-01
YS/T 1032-2015铝电解用阴极炭块内部缺陷检验方法现行2015-04-302015-10-01
CB/T 4275-2013A类管系附件用铸钢件表面缺陷目视检验方法现行2013-10-172014-03-01
GB/T 14999.1-2012高温合金试验方法 第1部分:纵向低倍组织及缺陷酸浸检验废止2012-11-052013-05-01
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GB/T 22665.3-2008手持式电动工具手柄的振动测量方法 第3部分:砂轮机、抛光机和盘式砂光机现行2008-12-302009-10-01
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GB/T 26548.3-2017手持便携式动力工具 振动试验方法 第3部分:抛光机,回转式、滑板式和复式磨光机现行2017-05-122017-12-01
GB/T 20166.2-2012稀土抛光粉化学分析方法 第2部分:氟量的测定 离子选择性电极法现行2012-11-052013-05-01
GB/T 26070-2010化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法现行2011-01-102011-10-01
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GB/T 34504-2017蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法废止2017-10-142018-05-01
GB/T 15033-2009生咖啡 嗅觉和肉眼检验以及杂质和缺陷的测定现行2009-04-032009-09-01