硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法

Test method for carrier recombination lifetime in silicon wafers and silicon ingots—Non-contact measurement of photoconductivity decay by microwave reflectance method

GB/T 26068-2018推荐性国家标准

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GB/T 26068-2018 相似标准 第8页

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