硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法

Test method for measuring surface roughness on planar surfaces of silicon wafer

GB/T 29505-2013推荐性国家标准

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GB/T 29505-2013 相似标准 第9页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
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