硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法

Test method for measuring surface roughness on planar surfaces of silicon wafer

GB/T 29505-2013推荐性国家标准

现行

上传时间:2026-02-23
格式:pdf

GB/T 29505-2013 相似标准 第8页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
GB/T 6616-2009半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法 非接触涡流法废止2009-10-302010-06-01
GB/T 26068-2010硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法废止2011-01-102011-10-01
GB/T 29055-2012太阳电池用多晶硅片废止2012-12-312013-10-01
GB/T 32280-2015硅片翘曲度测试 自动非接触扫描法废止2015-12-102017-01-01
T/CPIA 0021-2020绿色设计产品评价技术规范 光伏硅片现行2020-03-102020-03-20
T/CPIA 0022-2020光伏硅片制造业绿色工厂评价要求现行2020-03-102020-03-20
T/ZZB 0594-2018硅片用电镀金刚石切割线现行2018-10-122018-10-31
YS/T 28-2024硅片包装和标志现行2024-10-242025-05-01
DB31/ 792-2014硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额有更新版2014-04-152014-08-01
T/SEPA 4-2022局部放电EFPI光纤超声传感器探头MEMS制造技术 第1部分:基于SOI硅片的工艺规范现行2022-12-012023-02-01
T/ZZB 0594-2023硅片用电镀金刚石切割线现行2023-10-202023-11-01
GB/T 25188-2010硅晶片表面超薄氧化硅层厚度的测量 X射线光电子能谱法现行2010-09-262011-08-01
GB/T 44075-2024纳米技术 表面增强拉曼固相基片均匀性测量 拉曼成像分析法现行2024-05-282024-12-01
GB/T 45675-2025增材制造 金属粉末床熔融成形件表面结构的测量及表征方法现行2025-05-302025-09-01
GB/T 16143-1995建筑物表面氡析出率的活性炭测量方法现行1995-12-211996-07-01
GB/T 22319.8-2008石英晶体元件参数的测量 第8部分:表面贴装石英晶体元件用测量夹具废止2008-08-062009-01-01
GB/T 21228.1-2007声学 表面声散射特性 第1部分:混响室中无规入射声散射系数测量现行2007-11-142008-05-01
GB/T 24368-2009玻璃表面疏水污染物检测 接触角测量法现行2009-09-302009-12-01