硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法

Test method for measuring surface roughness on planar surfaces of silicon wafer

GB/T 29505-2013推荐性国家标准

现行

上传时间:2026-02-23
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GB/T 29505-2013 相似标准 第6页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
JC/T 2065-2011太阳能电池硅片用石英舟现行2011-12-202012-07-01
JC/T 2066-2011太阳能电池硅片用石英玻璃扩散管现行2011-12-202012-07-01
HG/T 5962-2021硅片切割废液处理处置方法现行2021-08-212022-02-01
GB/T 37051-2018太阳能级多晶硅锭、硅片晶体缺陷密度测定方法现行2018-12-282019-04-01
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DB31/T 792-2026硅单晶棒及单晶硅片单位产品能源消耗限额现行2026-02-142026-06-01
DB13/T 1314-2010太阳能级单晶硅方棒、单晶硅片现行2010-11-152010-11-25
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DB31/ 792-2020硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额有更新版2020-03-252020-06-01
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GB/T 19444-2025硅片氧沉淀特性的测试 间隙氧含量减少法现行2025-06-302026-01-01
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T/QGCML 2024-2023掺镓硅片技术生产管理办法现行2023-11-032023-11-24
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