Thickness measurements for ultrathin silicon oxide layers on silicon wafers X-ray photoelectron spectroscopy
现行
2010-09-26
2011-08-01
GB/T 25188-2010
中国科学院
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
中国科学院
G04
71.040.40
国家标准
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