硅片参考面结晶学取向X射线测试方法

Method for measuring crystallographic orientation of flats on single-crystal silicon slices and wafers by X-ray techniques

GB/T 13388-2009推荐性国家标准

现行

上传时间:2026-02-21
总页数:12页
格式:pdf

GB/T 13388-2009 相似标准 第13页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
JB/T 10449-2020碳化硅特种制品 重结晶碳化硅 方梁现行2020-04-162021-01-01
DB52/T 900-2014结晶磷酸一铵生产技术规程废止2014-06-092014-07-09
GB/T 30653-2014Ⅲ族氮化物外延片结晶质量测试方法现行2014-12-312015-09-01
GB/T 13255.2-2009工业用己内酰胺试验方法 第2部分:结晶点的测定现行2009-05-132010-01-01
YS/T 74.8-2010镉化学分析方法 第8部分:铊量的测定 结晶紫分光光度法现行2010-11-102011-03-01
YS/T 785-2012NaA型沸石相对结晶度测定方法 X衍射法现行2012-05-242012-11-01
YS/T 746.14-2010无铅锡基焊料化学分析方法 第14部分:磷含量的测定 结晶紫-磷钒钼杂多酸分光光度法现行2010-11-102011-03-01
YS/T 516-2012钨丝二次再结晶温度测量方法现行2012-05-242012-11-01
HG/T 3251-2018工业结晶氯化铝现行2018-10-222019-04-01
HG/T 6070-2022结晶硫化钠现行2022-09-302023-04-01
HG/T 3488-2017化学试剂 五水合四氯化锡(结晶四氯化锡)现行2017-11-072018-04-01
GB/T 19421-2008层状结晶二硅酸钠试验方法现行2008-05-282008-12-01
YY/T 0815-2010差示扫描量热法测定超高分子量聚乙烯熔化焓、结晶度和熔点现行2010-12-272012-06-01
YY/T 0661-2017外科植入物 半结晶型聚丙交酯聚合物和共聚物树脂现行2017-09-252018-10-01
SH/T 0340-1992NaY分子筛结晶度测定法现行1992-05-201992-05-20
GB/T 19466.3-2004塑料 差示扫描量热法(DSC) 第3部分:熔融和结晶温度及热焓的测定废止2004-03-152004-12-01
GB/T 12832-2008橡胶结晶效应的测定 硬度测量法现行2008-04-012008-09-01
SJ/T 10067-1991BT40型可调单结晶体管详细规范现行1991-04-081991-07-01