硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法

Test method for measuring surface sodium,aluminum,potassium,and iron on silicon and epi substrates by secondary ion mass spectrometry

GB/T 24575-2009推荐性国家标准

现行

上传时间:2026-02-21
总页数:12页
格式:pdf

GB/T 24575-2009 相似标准 第15页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
GB/T 12690.12-2024稀土金属及其氧化物中非稀土杂质 化学分析方法 第12部分:钍、铀量的测定 电感耦合等离子体质谱法(外文版EN)现行2024-12-31
YS/T 953.11-2014火法冶炼镍基体料化学分析方法 第11部分:铅、砷、镉、汞量的测定 电感耦合等离子体质谱法现行2014-10-142015-04-01
YS/T 1287-2018高纯镉化学分析方法 镁、铝、钙、铬、铁、镍、铜、锌、银、锡、锑、铅、铋量的测定 电感耦合等离子体质谱法现行2018-10-222019-04-01
YS/T 1086-2015高纯锑化学分析方法 镁、锰、铁、镍、铜、锌、砷、硒、银、镉、金、铅、铋量的测定 电感耦合等离子体质谱法现行2015-04-302015-10-01
YS/T 473-2015工业镓化学分析方法 杂质元素的测定 电感耦合等离子体质谱法现行2015-04-302015-10-01
YS/T 1603.3-2023钨基高比重合金化学分析方法 第3部分:铝、镁、钙含量的测定 电感耦合等离子体质谱法现行2023-04-212023-11-01
YS/T 1318.2-2019硫酸四氨钯化学分析方法 第2部分:镁、铝、铬、锰、铁、镍、铜、锌、钌、铑、银、锡、铱、铂、金、铅、铋含量的测定 电感耦合等离子体质谱法现行2019-08-022020-01-01
YS/T 1075.14-2023钒铝、钼铝中间合金化学分析方法 第14部分:痕量杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法现行2023-12-202024-07-01
YS/T 37.4-2018高纯二氧化锗化学分析方法 电感耦合等离子体质谱法测定镁、铝、钴、镍、铜、锌、铟、铅、钙、铁和砷量现行2018-10-222019-04-01
YS/T 1288.1-2018高纯锌化学分析方法 第1部分:镁、铝、钴、铁、镍、铜、砷、银、镉、铟、锡、铅、铋量的测定 电感耦合等离子体质谱法现行2018-10-222019-04-01
YS/T 1050.10-2016铅锑精矿化学分析方法 第10部分 铊量的测定 电感耦合等离子体质谱法和电感耦合等离子体原子发射光谱法现行2016-07-112017-01-01
YS/T 1563.4-2022钼铼合金化学分析方法 第4部分:铝、钙、铜、铁、镁、锰、镍、锡、钨含量的测定 电感耦合等离子体质谱法现行2022-09-302023-04-01
YS/T 568.12-2022氧化锆、氧化铪化学分析方法 第12部分:氧化锆中硼、钠、镁、铝、硅、钙、钛、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌、钼、镉、铪、铅、铋含量的测定 电感耦合等离子体质谱法现行2022-09-302023-04-01
YS/T 445.14-2019银精矿化学分析方法 第14部分:铊含量的测定 电感耦合等离子体质谱法和电感耦合等离子体原子发射光谱法现行2019-08-022020-01-01
YS/T 1013-2014高纯碲化学分析方法 钠、镁、铝、铬、铁、镍、铜、锌、硒、银、锡、铅、铋量的测定 电感耦合等离子体质谱法现行2014-10-142015-04-01
SJ/T 11498-2015重掺硅衬底中氧浓度的二次离子质谱测量方法现行2015-04-302015-10-01
GB/T 34500.7-2026稀土废渣、废水化学分析方法 第7部分:钍、铀含量的测定 电感耦合等离子体质谱法即将实施2026-05-252026-12-01
QB/T 4851-2015葡萄酒中无机元素的测定方法 电感耦合等离子体质谱法和电感耦合等离子体原子发射光谱法现行2015-10-102016-03-01