硅片平整度、厚度及总厚度变化测试 自动非接触扫描法

Test method for measuring flatness, thickness and total thickness variation on silicon wafers by automated non-contact scanning

GB/T 29507-2013推荐性国家标准

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GB/T 29507-2013 相似标准 第9页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
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GB/T 21196.4-2007纺织品 马丁代尔法织物耐磨性的测定 第4部分:外观变化的评定现行2007-11-122008-07-01
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GB/T 18310.22-2003纤维光学互连器件和无源器件 基本试验和测量程序 第2-22部分:试验 温度变化现行2003-11-242004-08-01
GB/T 17031.2-1997纺织品 织物在低压下的干热效应 第2部分:受干热的织物尺寸变化的测定现行1997-10-091998-05-01
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